椭偏仪
用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。 由于厚度和折光率测量精度高，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。 利用椭偏仪来测量薄膜的过程就是椭偏仪测量。
样品要求：
1. 厚度测试范围是0.5nm-10μm，测试光谱范围370-1000nm，有基底的膜层，基底厚度要求越厚越好，膜层厚度要在10μm以下，如果是单层膜，没有基底的话，膜厚越厚越好，最好500μm以上；
2. 确保样品上下表面平整，否则测不了；
3. 确保被测表面光滑，测试时能有反射光束被接收，否则测不了。送样前可以通过激光笔照射样品表面，能观察到有反射光束方可；
4. 如果被测样品是透明块体（不是膜），底面需要经过打磨成毛玻璃状，防止反射光；
5. 确保被测区域面积大于5mm2；
6. 有基底的样品需提供一份空白基底方便拟合，但也会作为一个测试样品。
试验测试周期：
7个工作日
