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项目简介
用途及功能：
1.定点剖面形貌和成分表征
TEM样品制备
微纳结构加工
芯片线路修改
5.切片式三维重构
6.材料转移
7.三维原子探针样品制备
适用领域：
结构分析、材料表征、芯片修补、生物检测、三维重构、材料转移等，该系统可适用于横截面和断层扫描，3D分析，TEM样品制备及纳米图形加工
样品要求
无挥发性，固体、块体长宽最好小于20mm，高度小于5mm；
样品要求导电性良好；
样品表面会进行喷铂处理，无法测试铂元素。
